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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 ULSIプロセス技術 A1 原, 央 YR 1997 FD 1997.6 SP x, 286p K1 集積回路 PB 培風館 PP 東京 SN 456303617X LA Japanese (日本語) CL NDC8:549.7 CL NDC9:549.7 NO 執筆: 有門経敏ほか NO 参考文献: 各章末 NO 索引あり NO 叢書名=アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 17 NO 書誌ID=BB00339986; NCID=BA30760470; LK https://doors.doshisha.ac.jp/opac/opac_details/?lang=0&amode=11&bibid=BB00339986 DS 同志社大学OPAC OL 58