ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 産業図書 , 1992.10 |
| 大きさ | xiii, 394p ; 22cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
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| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.7||T601 | 921050881 |
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| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.7||T601 | 930004520 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB00864546 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 監修:菅野卓雄 |
| 著者標目 | 徳山, 巍(1929-) <トクヤマ, タカシ> |
| 件 名 | BSH:集積回路 |
| 分 類 | NDC8:549.7 NDC7:549.8 |
| 巻冊次 | ISBN:4782856288 ; PRICE:\5768 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BN08137616 |
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