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スパッタ ギジュツ
スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著

データ種別 図書
出版情報 東京 : 共立出版 , 1988.6
大きさ v, 227p ; 22cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
549||W6 881003670


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書誌ID BB00694906
本文言語 日本語
一般注記 文献: 各章末
著者標目  和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
 早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
件 名 BSH:薄膜
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:431.86
NDC8:549
NDC7:431.89
巻冊次 ISBN:4320084772 ; PRICE:4120円 RefWorks出力(各巻)
NCID BN02297664
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