ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ
半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 産業図書 , 1980.7 |
| 大きさ | 6, 373p ; 22cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
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| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.8||S27-2 | 800910220 |
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| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.8||S27-2 | 930004518 |
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| 理工学部 電気系 |
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549.8||S27-2 | 810706151 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB00613643 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 各章末:参考文献 |
| 著者標目 | 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ> |
| 件 名 | NDLSH:集積回路 |
| 分 類 | NDC6:549.7 NDC8:549.7 NDLC:ND386 |
| 巻冊次 | ISBN:4782856210 ; PRICE:4000円 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BN0059785X |
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