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VLSI ノ ハクマク ギジュツ
VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
(電子材料シリーズ)

データ種別 図書
出版情報 東京 : 丸善 , 1986.9
大きさ xii, 250p ; 22cm

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今出川図書館 学外倉庫
549.8||I8 861005569


ラーネッド記念図書館 第3開架
549.8||I8 920004940


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書誌ID BB00603149
本文言語 日本語
一般注記 各章末:文献
著者標目  伊藤, 隆司 <イトウ, タカシ>
 石川, 元 <イシカワ, ハジメ>
 中村, 宏昭 <ナカムラ, ヒロアキ>
件 名 BSH:集積回路
BSH:薄膜
NDLSH:集積回路
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND386
巻冊次 ISBN:4621031120 ; PRICE:4017円 RefWorks出力(各巻)
NCID BN00435789
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