イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 / 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
(新材料・新素材シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : シーエムシー出版 , 2012.11 |
| 大きさ | ix, 279p ; 27cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.7||M9368 | 129203576 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB12574576 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 別書名 | 標題紙タイトル:Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications 表紙タイトル:High technology information 異なりアクセスタイトル:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合 |
| 一般注記 | 参考文献あり |
| 著者標目 | 益, 一哉 <マス, カズヤ> 年吉, 洋 <トシヨシ, ヒロシ> 町田, 克之 <マチダ, カツユキ> |
| 巻冊次 | ISBN:9784781305868 ; PRICE:68000円+税 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BB1082106X |
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