ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
はじめての半導体ドライエッチング技術 / 野尻一男著
(現場の即戦力)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : 技術評論社 , 2012.1 |
| 大きさ | viii, 162p : 挿図 ; 21cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
|
549.8||N9367 | 119204443 |
|
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB12395033 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:半導体ドライエッチング技術 : はじめての |
| 一般注記 | 参考文献: 各章末 |
| 著者標目 | 野尻, 一男 <ノジリ, カズオ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
| 巻冊次 | ISBN:9784774149400 ; PRICE:2280円+税 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BB07670421 |
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