Silicon integrated circuits / edited by Dawon Kahng
(Applied solid state science : advances in materials and device research ; Supplement, 2)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | New York : Academic Press , 1981-1985 |
| 大きさ | 3 v. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 理工学部 電気系 | pt. C | 428.85||S9||3 | 882003027 |
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| 書誌ID | BB00022183 |
|---|---|
| 本文言語 | 英語 |
| 内容注記 | pt. A: Physics of the MOS transistor / John R. Brews Nonvolatile memories / Yoshio Nishi and Hisakazu Iizuka The properties of silicon-on-sapphire substrates, devices, and integrated circuits / Alfred C. Ipri pt. B: Physics and chemistry of impurity diffusion and oxidation of silicon / Richard B. Fair Silicon power field controlled devices and integrated circuits / B. Jayant Baliga pt. C. Transient thermal processing of silicon / G.K. Celler and T.E. Seidel Reactive ion-beam etching and plasma deposition techniques using electron cyclotron resonance plasmas / Seitaro Matsua Physics of VLSI processing and process simulation / W. Fichtner |
| 一般注記 | Includes bibliographies and indexes |
| 著者標目 | Kahng, Dawon |
| 件 名 | LCSH:Metal oxide semiconductors LCSH:Semiconductors storage devices LCSH:Integrated circuits |
| 分 類 | LCC:TK7871.99.M44 DC19:621.381/71 |
| 巻冊次 | pt. A ; ISBN:0120029545 RefWorks出力（各巻） pt. B ; ISBN:012002957X RefWorks出力（各巻） pt. C ; ISBN:012002960X RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BA00942956 |
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