DOORS（同志社大学図書館）

Development of an electron cyclotron resonance plasma source with an internal antenna for carbon film deposition / Camille Faith P. Romero

データ種別	図書
出版者	[S.l.] : [Camille Faith P. Romero]
出版年	[2018]
大きさ	xxviii, 111, 3 p. : ill. ; 30 cm
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配架場所	巻　次	請求記号	資料番号	状　態	コメント	予約	文庫区分	教員指定/教員執筆/多読	仮想書架
今出川図書館学外倉庫		427.6\|\|R9155	189105498			予約			仮想書架	予約	仮想書架

書誌ID	BB13071665
本文言語	英語
一般注記	同志社大学博士論文(甲)第892号 Includes bibliographical references (p. 107-111)
著者標目	Romero, Camille Faith Pascua
NCID	BB27354297