チョウビサイ カコウ ノ キソ : ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ
超微細加工の基礎 : 半導体製造技術 / 麻蒔立男著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 1993.3 |
| 大きさ | 2, viii, 261, ivp ; 21cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 書庫1階 |
|
549.8||A596 | 930001478 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB00881397 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 参考文献: 各章末 |
| 著者標目 | 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 |
| 巻冊次 | ISBN:4526032840 ; PRICE:3500円 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BN08854220 |
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