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ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 産業図書
出版年 1989.2
大きさ viii, 330p ; 22cm

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書誌詳細を非表示

書誌ID BB00726305
本文言語 日本語
著者標目  河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ>
 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ>
 奥村, 次徳 <オクムラ, ツグノリ>
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
巻冊次 ISBN:478285627X ; PRICE:4500円 RefWorks出力(各巻)
NCID BN03233656
目次・あらすじ

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