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ハンドウタイ エピタキシー ギジュツ
半導体エピタキシー技術 / 河東田隆著
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 産業図書
出版年 1982.10
大きさ vii, 193p ; 22cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
549.8||K14 821209177


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書誌ID BB00626238
本文言語 日本語
一般注記 各章末:参考文献
著者標目  河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ>
件　名 NDLSH:半導体
分　類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
巻冊次 ISBN:4782856229 ; PRICE:2900円 RefWorks出力（各巻）
NCID BN00813820
目次・あらすじ

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