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ドライ プロセス オウヨウ ギジュツ : チョウビサイ ソシ ノ セイホウ
ドライプロセス応用技術 : 超微細素子の製法 / 小林春洋〔ほか〕著

データ種別 図書
出版情報 東京 : 日刊工業新聞社 , 1984.7
大きさ 199,6p ; 22cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
549.8||K19 850014163


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書誌ID BB00586852
本文言語 日本語
著者標目  小林, 春洋(1925-) <コバヤシ, ハルヒロ>
件 名 NDLSH:電子部品
NDLSH:薄膜
NDLSH:印刷回路
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND354
巻冊次 ISBN:4526017442 ; PRICE:3300円 RefWorks出力(各巻)
NCID BN00036182
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