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Ion beam assisted film growth / edited by Tadatsugu Itoh
(Beam modification of materials ; 3)

データ種別 図書
出版情報 Amsterdam ; Oxford ; Tokyo : Elsevier , 1989
大きさ xvii, 439 p : ill. ; 25 cm

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理工学部 電気系
428.4||I6 892012478


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書誌ID BB00092481
本文言語 英語
一般注記 Includes index
著者標目  伊藤, 糾次 <イトウ, タダツグ>
件　名 LCSH:Thin films, Multilayered
LCSH:Ion bombardment
LCSH:Sputtering (Physics)
LCSH:Semiconductor films
分　類 LCC:QC176.9.M84
DC19:530.4/1
NDC8:428.4
巻冊次 ISBN:0444872809 RefWorks出力（各巻）
NCID BA06776816
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