プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
プラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : オーム社 |
| 出版年 | 2005.10 |
| 大きさ | xi, 279p ; 22cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.1||D9219 | 139204432 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB12664587 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 文献:章末 |
| 著者標目 | 電気学会 <デンキ ガッカイ> 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 <デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ> |
| 件 名 | BSH:イオンビーム加工 BSH:プラズマ物理学 |
| 分 類 | NDC8:549.1 NDC9:549.1 |
| 巻冊次 | ISBN:4274201236 ; PRICE:4900円+税 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BA73952112 |
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