クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ
クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術 / 山田公編著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 2006.10 |
| 大きさ | xi, 223p ; 21cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.1||Y9318 | 139204321 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB12664400 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 別書名 | 標題紙タイトル:Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process 標題紙タイトル:クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術 |
| 著者標目 | 山田, 公 <ヤマダ, イサオ> |
| 件 名 | BSH:イオンビーム |
| 分 類 | NDC8:549.1 NDC9:549.1 |
| 巻冊次 | ISBN:4526057657 ; PRICE:3200円+税 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BA79102802 |
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