エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ
液浸リソグラフィのプロセスと材料 / 東木達彦監修 = Process and ingredient of immersion lithography / supervisor, Tatsuhiko Higashiki
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : シーエムシー出版 |
| 出版年 | 2006.10 |
| 大きさ | v, 243p : 挿図 ; 27cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
|
549.7||H9598 | 069203689 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB10201528 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 文献: 各章末 |
| 著者標目 | 東木, 達彦 <ヒガシキ, タツヒコ> |
| 件 名 | BSH:リソグラフィー |
| 分 類 | NDC8:549.7 NDC9:549.7 |
| 巻冊次 | ISBN:488231584X ; PRICE:65000円 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BA79534578 |
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