チョウ LSI ジダイ ノ プラズマ カガク
超LSI時代のプラズマ化学 / 「電子材料」編集部編
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 工業調査会 |
| 出版年 | 1983.9 |
| 大きさ | 213p ; 22cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 第2開架 |
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427.15||C7 | 850023417 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB00615069 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 各章末:参考文献 |
| 著者標目 | 電子材料編集部 編 <デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ> |
| 件 名 | NDLSH:プラズマ |
| 分 類 | NDC8:431.7 NDLC:PA181 NDLC:MC241 |
| 巻冊次 | ISBN:4769310315 ; PRICE:3200円 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BN00621353 |
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