Plasma processing XIV : proceedings of the international symposium / editor, G.S. Mathad ; assistant editors, M.D. Allendorf, R.E. Sah, M. Yang ; sponsoring divisions, Dielectric Science and Technology and Electronics
(Proceedings / [Electrochemical Society] ; v. 2002-17)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Pennington, N.J. : Electrochemical Society |
| 出版年 | c2002 |
| 大きさ | ix, 324 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 理工学部 数理環境科学 |
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427.6||M9271 | 026100399 |
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| 書誌ID | BB00563670 |
|---|---|
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and indexes "The symposium, cosponsored by the Dielectric Science & Technology and Electronics divisions, was held as part of the 201st Centennial Meeting of The Electrochemical Society, Inc., in Philadelphia, PA, May 12-17, 2002"--on pref |
| 著者標目 | International Symposium on Plasma Processing (9th : 2002 : Philadelphia, Pa.) Mathad, G. S. Allendorf, Mark Donald Sah, R. E. Yang, M. Electrochemical Society. Dielectric Science and Technology Division Electrochemical Society. Electronics Division |
| 巻冊次 | ISBN:1566773415 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BA60593447 |
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