NF3 プラズマアシスト ハンノウ オヨビ NF3 ネツカガク ハンノウ ニヨル SiC ノ フッソカ
NF[3]プラズマアシスト反応およびNF[3]熱化学反応によるSiCのフッ素化 / 研究代表者田坂明政
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成11年度-平成12年度)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | [京都] : [田坂明政] |
| 出版年 | 2001.3 |
| 大きさ | 1冊 ; 30cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
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| 今出川図書館 学外倉庫 |
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549.8||T9113 | 019113551 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB00516159 |
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| 本文言語 | 日本語 |
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書 |
| 一般注記 | TRの[3]は下つき文字 課題番号: 11650864 |
| 著者標目 | 田坂, 明政 <タサカ, アキマサ> |
| NCID | BA51878468 |
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※2000年4月1日以降