ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 培風館 |
| 出版年 | 1995.12 |
| 大きさ | xi, 366p ; 22cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 書庫1階 |
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549.7||O614 | 953004937 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB01003567 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術 |
| 一般注記 | 参考文献: 各章末 |
| 著者標目 | 大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ> |
| 件 名 | BSH:集積回路 NDLSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.7 NDC8:549.8 NDLC:ND371 |
| 巻冊次 | ISBN:4563036153 ; PRICE:5974円 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BN13643698 |
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