ビサイ カコウ ト レジスト
微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
(高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 共立出版 |
| 出版年 | 1987.11 |
| 大きさ | iv, 99p ; 19cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.7||N569 | 930005516 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB00669432 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 著者標目 | 野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ> |
| 件 名 | BSH:集積回路 NDLSH:集積回路 NDLSH:電子光学 |
| 分 類 | NDC8:549.7 NDC7:549.8 |
| 巻冊次 | ISBN:4320042271 ; PRICE:1030円 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BN01734322 |
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