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SOI コウゾウ ケイセイ ギジュツ
SOI構造形成技術 / 古川静二郎編著
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 産業図書
出版年 1987.10
大きさ 281p ; 22cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
549.8||F5 871007129


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書誌ID BB00659731
本文言語 日本語
著者標目  古川, 静二郎 <フルカワ, セイジロウ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:半導体
NDLSH:シリコン(半導体)
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
巻冊次 ISBN:4782856253 ; PRICE:4200円 RefWorks出力(各巻)
NCID BN01517109
目次・あらすじ

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