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MEMS デバイス テッテイ ニュウモン : 「ツカウ」 「ワカル」 「ツクル」 マイクロマシン・センサ
MEMSデバイス徹底入門 : 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ / 三田吉郎著

データ種別 図書
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2018.8
大きさ vi, 188p : 挿図 ; 21cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
530||M9736 189201435


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書誌ID BB13066614
本文言語 日本語
別書名 標題紙タイトル:Introduction to MEMS devices
一般注記 "現実世界と情報世界を仲立ちする、情報処理回路の入出力の要「MEMSデバイス」。MEMSはどう使え、どう動き、どう作るのか、関連するスキルと知識を、豊富な実験例と平易な文章で解説する。"--TRC MARCによる
著者標目  *三田, 吉郎 著 <ミタ, ヨシオ>
件 名 BSH:マイクロマシン
分 類 NDC8:530
NDC9:530
NDC10:530
巻冊次 ISBN:9784526078712 ; PRICE:2200円 (税別) RefWorks出力(各巻)
NCID BB26747228
目次・あらすじ

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