ショクバイ CVD Cat‐CVD ノ シンテンカイ : ラジカル オ モチイル シン プロセス ギジュツ
触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術 / 中山弘監修
(CMCテクニカルライブラリー ; 481 . エレクトロニクスシリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 普及版 |
| 出版者 | 東京 : シーエムシー出版 |
| 出版年 | 2013.11 |
| 大きさ | v, 276p : 挿図 ; 26cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
|
572.8||N9300 | 179201357 |
|
|
|
書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB13020089 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 別書名 | 標題紙タイトル:Recent developments of catalytic CVD (hot‐wire CVD) : a new radical‐based processing technology |
| 一般注記 | 文献: 章末 2008年の普及版 |
| 著者標目 | 中山, 弘 <ナカヤマ, ヒロシ> |
| 件 名 | BSH:薄膜 BSH:触媒 |
| 分 類 | NDC9:572.8 NDC9:501.4 |
| 巻冊次 | ISBN:9784781307404 ; PRICE:4400円+税 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BB13944703 |
目次・あらすじ
類似資料
この資料の利用統計
全貸出数：3回
(1年以内の貸出：0回)
※2000年4月1日以降