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シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ
シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5)

データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1994.5
大きさ xii, 361p ; 22cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
549.8||A612 943002278


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書誌ID BB00976181
本文言語 日本語
一般注記 各章末: 参考文献
著者標目  阿部, 孝夫 <アベ, タカオ>
件 名 NDLSH:結晶成長
NDLSH:電子部品
分 類 NDC8:549.8
巻冊次 ISBN:4563036056 ; PRICE:5974円 RefWorks出力(各巻)
NCID BN10742751
目次・あらすじ

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