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ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著
(Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 ; . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08)

データ種別 図書
出版者 東京 : 丸善
出版年 1991.3
大きさ xi, 262p ; 22cm

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今出川図書館 B1階書庫
549.8||F5-4 911002755


ラーネッド記念図書館 第3開架
549.8||F5-4 920004467


書誌詳細を非表示

書誌ID BB00812191
本文言語 日本語
一般注記 各章末: 文献
著者標目  古川, 静二郎(1934-) <フルカワ, セイジロウ>
 石原, 健 <イシハラ, タケシ>
 堂山, 昌男(1927-) <ドウヤマ, マサオ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
巻冊次 ISBN:4621035835 ; PRICE:4944円 RefWorks出力(各巻)
NCID BN06180206
目次・あらすじ

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