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薄膜化技術 / 和佐清孝, 早川茂著

データ種別 図書
版 第3版
出版者 東京 : 共立出版
出版年 2002.6
大きさ viii, 316p ; 22cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
549.8||W9367 029202381


書誌詳細を非表示

書誌ID BB00548207
本文言語 日本語
一般注記 折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)
著者標目  和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
 早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
件　名 BSH:薄膜
分　類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
巻冊次 ISBN:4320086139 ; PRICE:5000円 RefWorks出力（各巻）
NCID BA57243403
目次・あらすじ

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