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ジコ ソシキカ プロセス ギジュツ
自己組織化プロセス技術 / 村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 20)

データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1999.7
大きさ x, 307p ; 22cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
549.8||M733 990202003


理工学部 化学系
549.8||M733 996100239


書誌詳細を非表示

書誌ID BB00442267
本文言語 日本語
一般注記 参考文献: 各章末
著者標目  村田, 好正(1935-) <ムラタ, ヨシタダ>
 尾関, 雅志 <オゼキ, マサシ>
 野崎, 眞次 <ノザキ, シンジ>
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDLC:ND371
巻冊次 ISBN:456303620X ; PRICE:5400円+税 RefWorks出力(各巻)
NCID BA4214337X
目次・あらすじ

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