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ULSI プロセス ギジュツ
ULSIプロセス技術 / 原央編
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)

データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1997.6
大きさ x, 286p ; 22cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
549.7||H302 970207677


書誌詳細を非表示

書誌ID BB00339986
本文言語 日本語
一般注記 執筆: 有門経敏ほか
参考文献: 各章末
索引あり
著者標目  原, 央 <ハラ, ヒサシ>
件　名 NDLSH:集積回路
分　類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
巻冊次 ISBN:456303617X ; PRICE:5600円 RefWorks出力（各巻）
NCID BA30760470
目次・あらすじ

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