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レジスト ザイリョウ
レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
(高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10)

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 2005.2
大きさ iv, 104p : 挿図 ; 19cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
549.7||I9299 049205635


書誌詳細を非表示

書誌ID BB10099396
本文言語 日本語
著者標目 伊藤, 洋(1946-) <イトウ, ヒロシ>
 高分子学会 <コウブンシ ガッカイ>
件　名 BSH:リソグラフィー
BSH:感光性樹脂
分　類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
巻冊次 ISBN:4320043723 ; PRICE:1400円 RefWorks出力（各巻）
NCID BA70954224
目次・あらすじ

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