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チョウ LSI カイロ ト プロセス
超LSI回路とプロセス / 西澤潤一編
(半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 24巻 . 超LSI技術 ; 10)

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 1986.8
大きさ 8,324p ; 27cm

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書誌ID BB00610732
本文言語 日本語
一般注記 執筆:秋谷秀夫ほか
各章末:参考文献
著者標目  西澤, 潤一(1926-) <ニシザワ, ジュンイチ>
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
巻冊次 ISBN:4769310544 ; PRICE:17000円 RefWorks出力(各巻)
NCID BN00551043
目次・あらすじ

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