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プロセス ノ キソ
プロセスの基礎 / 西沢潤一編
(半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 20 . 超LSI技術 ; 7)

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 1983.8
大きさ 394p ; 27cm

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ラーネッド記念図書館 第3開架
549.8||H8||20 920006443


理工学部 電気系
549.8||H8||20 932005552


書誌詳細を非表示

書誌ID BB00593677
本文言語 日本語
一般注記 各章末:参考文献
著者標目  西沢, 潤一(1926-) <ニシザワ, ジュンイチ>
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
巻冊次 ISBN:4769310323 ; PRICE:16000円 RefWorks出力(各巻)
NCID BN00282815
目次・あらすじ

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