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スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著

データ種別 図書
出版者 東京 : 東京大学出版会
出版年 1984.3
大きさ ix, 231p ; 22cm

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書誌ID BB00589252
本文言語 日本語
一般注記 各章末: 参考文献
一般的参考書: p226
著者標目  金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ>
件 名 NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
巻冊次 ISBN:4130610473 ; PRICE:2800円 RefWorks出力(各巻)
NCID BN00164488
目次・あらすじ

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