ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ
半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : エヌ・ティー・エス |
出版年 | 2017.4 |
大きさ | ii, x, 382, 12p, 図版vip : 挿図 ; 27cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
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ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.7||O9575 | 179200542 |
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書誌詳細を非表示
書誌ID | BB13006865 |
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本文言語 | 日本語 |
一般注記 | 執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか 文献: 各節末 |
著者標目 | 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ> |
件 名 | BSH:リソグラフィー BSH:半導体 |
分 類 | NDC8:549.7 NDC9:549.7 |
巻冊次 | ISBN:9784860434670 RefWorks出力(各巻) |
NCID | BB23688949 |
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