プラズマ プロセシング ノ キソ
プラズマプロセシングの基礎 / Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 電気書院 |
| 出版年 | 1985.11 |
| 大きさ | 13, 391p ; 22cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 今出川図書館 学外倉庫 |
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549.94||C-1A | 851205181 |
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| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.94||C-1A | 920004124 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB00595486 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 別書名 | 原タイトル:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching |
| 一般注記 | Glow discharge processes, c1980 の翻訳 参考文献: p[357]-386 |
| 著者標目 | Chapman, Brian N. 岡本, 幸雄 <オカモト, ユキオ> |
| 件 名 | NDLSH:プラズマ |
| 分 類 | NDC8:427.6 NDLC:MC241 |
| 巻冊次 | ISBN:4485661180 ; PRICE:6200円 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BN00319697 |
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