ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 技報堂出版 |
| 出版年 | 1985.10 |
| 大きさ | 2,2,3,145p ; 22cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ラーネッド記念図書館 第3開架 |
|
534.93||S3 | 850044720 |
|
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB00588779 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 別書名 | 原タイトル:Vacuum technology, thin films, and sputtering 異なりアクセスタイトル:真空・薄幕・スパッタリング : 入門 |
| 著者標目 | Stuart, R. V. 著 毛利, 衛 <モウリ, マモル> 数坂, 昭夫 <カズサカ, アキオ> |
| 件 名 | NDLSH:真空工学 NDLSH:薄膜 |
| 分 類 | NDC8:534.93 NDLC:NB126 |
| 巻冊次 | ISBN:4765503585 ; PRICE:2000円 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BN00148324 |
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