ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
はじめての半導体製造装置 / 前田和夫著
(ビギナーズブックス ; 3)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 工業調査会 |
出版年 | 1999.3 |
大きさ | 254p ; 21cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
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ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.8||M367 | 990200698 |
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書誌詳細を非表示
書誌ID | BB00423804 |
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本文言語 | 日本語 |
一般注記 | さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p245-247, 引用文献および資料: p248-250 |
著者標目 | 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ> |
件 名 | BSH:半導体 |
分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
巻冊次 | ISBN:4769311699 ; PRICE:2000円 RefWorks出力(各巻) |
NCID | BA40473169 |
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