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マイクロカコウノブツリトオウヨウ
マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
(応用物理学選書 ; 8)

配架場所	巻　次	請求記号	資料番号	状　態	コメント	予約	文庫区分	教員指定/教員執筆/多読	仮想書架
ラーネッド記念図書館第3開架		549.7\|\|Y736	980200811			予約			仮想書架	予約	仮想書架

書誌ID	BB00375545
本文言語	日本語
別書名	その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
一般注記	欧文標題は標題紙裏による付: 参考文献, 参考書
著者標目	吉田, 善一(1957-) <ヨシダ, ヨシカズ>
件　名	BSH:集積回路 BSH:電子光学 NDLSH:半導体 NDLSH:機械工作
分　類	NDC8:549.7 NDC9:549.7 NDC9:549.8 NDLC:ND371
巻冊次	ISBN:4785325089 ; PRICE:3990円 RefWorks出力（各巻）
NCID	BA35144601

目次・あらすじ