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Characteristics of sputtered particles, technical applications / edited by R. Behrisch and K. Wittmaack ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.]
(Topics in applied physics ; v. 64 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Bhrisch and K. Wittmaack ; 3)

データ種別 図書
出版情報 Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , c1991
大きさ xiii, 410 p. : ill. ; 24 cm

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理工学部 電気系
428.4||B544 922008985


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書誌ID BB00162686
本文言語 英語
一般注記 Includes bibliographical references and indexes
著者標目  Behrisch, Rainer
 Wittmaack, K.
件 名 LCSH:Sputtering (Physics)
LCSH:Solids -- Effect of radiation on  全ての件名で検索
LCSH:Surfaces (Physics) -- Effect of radiation on  全ての件名で検索
分 類 LCC:QC176.8.S72
DC19:530.4/1
巻冊次 : gw ; ISBN:3540534288 RefWorks出力(各巻)
: us ; ISBN:0387534288 RefWorks出力(各巻)
NCID BA13027998
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