オカザキ, シンジ
岡崎, 信次
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| 著者の属性 | 個人 |
|---|---|
| 一般注記 | SRC:はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著 (工業調査会, 2003.6) の奥付頁による 2002年, (株)日立製作所中央研究所 ASET, EUVプロセス技術研究部部長 1994年, 工学博士 |
| コード類 | 典拠ID=AU00367540 NCID=DA14057979 |
| 1 | 半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修 東京 : エヌ・ティー・エス , 2017.4 |
| 2 | はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著 東京 : 技術評論社 , 2012.1 |
| 3 | はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著 東京 : 工業調査会 , 2003.6 |