ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
日本半導体製造装置協会
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| 著者の属性 | 団体 |
|---|---|
| 出生地等 | 東京 |
| 一般注記 | 「半導体製造装置用語辞典」の編者 EDSRC:半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編(日刊工業新聞社, 1994.11)標題紙の記述により英語名を追加. |
| 別名 | SEAJ Semiconductor equipment association of Japan |
| コード類 | 典拠ID=AU00122622 NCID=DA02628777 |
| 1 | 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編 第6版. - 東京 : 日刊工業新聞社 , 2006.9 |
| 2 | 液晶ディスプレイ製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編 第2版. - 東京 : 日刊工業新聞社 , 1999.10 |
| 3 | 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編 第4版. - 東京 : 日刊工業新聞社 , 1997.11 |
| 4 | 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編 第3版. - 東京 : 日刊工業新聞社 , 1994.11 |
| 5 | 「半導体立国」日本 : 独創的な装置が築きあげた記録 / 日本半導体製造装置協会編 東京 : 日刊工業新聞社 , 1991.11 |
| 6 | 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編 第2版. - 東京 : 日刊工業新聞社 , 1991.9 |
| 7 | 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編 東京 : 日刊工業新聞社 , 1987.11 |