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k351 pdf  485. KB  21 要旨

論文情報


データ種別:学位論文

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メタデータID 17170
タイトル アンバランスドマグネトロンスパッタ法により形成したダイヤモンドライクカーボン膜の密着性に関する研究
タイトル(ヨミ) アンバランスド マグネトロン スパッタ ホウ ニヨリ ケイセイ シタ ダイヤモンド ライク カーボンマク ノ ミッチャクセイ ニカンスル ケンキュウ
著者 中村, 守正
著者(ヨミ) ナカムラ, モリマサ
所属 理工学研究科
刊行年月日 2008-03-22
学位種別 課程博士
学位名 博士(工学)
学位記番号 甲 第351号
学位授与機関 同志社大学
学位授与年月日 2008-03-22
本文言語 Japanese (日本語)
カテゴリ 理工学研究科
原本所蔵情報へのリンク https://doors.doshisha.ac.jp/opac/opac_link/bibid/BB10268910/?lang=0