ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 1987.11 |
| 大きさ | 440p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 今出川図書館 学外倉庫 |
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549.8||N315 | 871007449 |
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書誌詳細を非表示
| 書誌ID | BB00664274 |
|---|---|
| 本文言語 | 日本語 |
| 著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
| 件 名 | BSH:半導体-用語 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDLC:ND2 NDLC:ND371 |
| 巻冊次 | ISBN:4526022756 ; PRICE:4000円 RefWorks出力（各巻） |
| NCID | BN01615028 |
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