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オプトエレクトロニクス ブンヤ オ チュウシン トシタ スパッタリングホウ ニヨル ハクマク サクセイ セイギョ ギジュツ
オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術 / [金原粲ほか執筆]

データ種別 図書
出版者 東京 : 技術情報協会
出版年 2006.10
大きさ 346p ; 27cm

所蔵情報を非表示

ラーネッド記念図書館 第3開架
549.95||K9114 109201318


書誌詳細を非表示

書誌ID BB10355806
本文言語 日本語
別書名 異なりアクセスタイトル:オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製制御技術
著者標目  金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ>
巻冊次 ISBN:4861041252 ; PRICE:84000円 RefWorks出力(各巻)
NCID BA79229100
目次・あらすじ

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