オプトエレクトロニクス ブンヤ オ チュウシン トシタ スパッタリングホウ ニヨル ハクマク サクセイ セイギョ ギジュツ
オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術 / [金原粲ほか執筆]
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 技術情報協会 |
出版年 | 2006.10 |
大きさ | 346p ; 27cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 予約 | 文庫区分 | 教員指定/教員執筆/多読 | 仮想書架 |
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ラーネッド記念図書館 第3開架 |
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549.95||K9114 | 109201318 |
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書誌詳細を非表示
書誌ID | BB10355806 |
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本文言語 | 日本語 |
別書名 | 異なりアクセスタイトル:オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製制御技術 |
著者標目 | 金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ> |
巻冊次 | ISBN:4861041252 ; PRICE:84000円 RefWorks出力(各巻) |
NCID | BA79229100 |
目次・あらすじ
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